Cambio de voltaje inducido por la carga

La alteración de tensión inducida por carga (CIVA) es una técnica de análisis e investigación de defectos y fallas utilizada en la producción de circuitos integrados de semiconductores en tecnología CMOS.

La técnica utiliza Microscopía Electrónica de barrido para encontrar fallas. El escaneo de un haz de electrones en la superficie de un dispositivo eléctrico puede resultar en la acumulación de cargas adicionales en conductores desconectados del resto del circuito (conductores flotantes). Si un dispositivo CMOS está polarizado activamente, la presencia de conductores abiertos puede permitir el funcionamiento de las funciones del circuito a bajas frecuencias de reloj por efecto de túnel. Al insertar cargas en los conductores flotantes que funcionan con quantum, es posible producir una carga adicional que se puede detectar monitoreando la corriente de la fuente de alimentación. Estos cambios en la corriente de suministro pueden asociarse con la imagen visual del dispositivo con las coordenadas en las que se encuentra el cambio. El resultado es una imagen SEM con una superposición de los conductores flotantes.

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